План разбора местоимений:
1. Часть речи, общее грамматическое значение и вопрос.
2. Начальная форма. Морфологические признаки:
   A. Постоянные морфологические признаки:
1. разряд по соотношению с другой частью речи (местоимение-существительное, местоимение-прилагательное, местоимение-числительное, местоимение-наречие);
2. разряд по значению (личное, возвратное, притяжательное, вопросительное, относительное, неопределённое, отрицательное, указательное, определительное);
3. лицо (для личных местоимений);
   число (для личных местоимений первого лица и второго лица).
   Б. Непостоянные морфологические признаки:
  1. падеж;
  2. число (если есть);
  3. род (если есть).
3. Роль в предложении (каким членом предложения является местоимение в данном предложении).

Разбор примера:
Он - местоимение, начальная форма - он, 3 лицо, единственное число, именительный падеж, подлежащее.